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集成電路行業廢氣處理如何保證效果？

【時間】2020-07-03? ?【作者】恒藍環保編輯 ?【點擊】次???TAG:廢氣處理(138)行業(7)集成電路(1)???

前幾天，有客戶打電話咨詢集成電路的廢氣處理問題，小編與技術人員溝通后給客戶回復了方案及報價，對于集成電路所產生的環保問題，主要有生產和生活廢水，還有車間內的廢氣和固體廢物等，對于廢水和固廢的處理本文不詳細介紹，但是對于集成電路行業的廢氣處理，需要為您詳細的介紹一下，以便對您選擇環保設備有那么一點點的幫助，本文由恒藍環保公司小編帶您了解集成電路行業廢氣處理采用什么方法？

首先，對于集成電路行業的廢氣需要歸納一下，這些廢氣是有幾個種類呢？一般是有五種左右的不同廢氣，有酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣、含塵廢氣、熱無處理廢氣，因為集成電路的生產線通常是24小時的流水線，所以對于廢氣處理工程設計方面需要可靠。在生產集成電路的過程中所使用的硅烷、磷烷等特殊氣體基本上均為危險、有毒化學品,在生產裝置的工藝排氣中有未反應的氣體、特殊氣體鋼瓶交換時也有氣體排出，且發生意外時,有可能大量的工藝氣體因泄漏而排出，需要就近進行處理。處理的方法有水洗式、干式吸附式、燃燒/加熱分解式。

集成電路行業廢氣處理如何保證效果？

言歸正傳，集成電路行業的廢氣需要采用廢氣凈化塔進行處理，一般采用氣液逆流操作，尾部的離心風機將收集到的廢氣吸到廢氣吸收洗滌凈化塔內，經過噴淋層和填料層，廢氣與吸收液進行氣液兩相充分接觸吸收中和反應，廢氣經過三級凈化后，再經除霧板脫水除霧后，引入吸附設備，利用蜂窩狀活性炭的多孔結構，活性炭孔壁上的大量的分子可以產生強大的引力，從而達到將介質中的雜質吸引到孔徑中的目的，然后經過15米的煙囪高空排放到大氣中。

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